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關于潔凈室氣流

 更新日期:2019-06-11 點擊量:1805

關于潔凈室氣流

潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響,即人、機器隔間、建筑結構等產(chǎn)生的塵埃的移動、擴散受到氣流的支配。一般潔凈室氣流速度是選0.25-0.5m/s之間,此流速屬微風區(qū)域,易受人、機器等的動作干擾趨于混亂,為了使?jié)崈?/span>潔凈度處于達標狀態(tài),保持潔凈室氣流的均一性就顯得尤為重要。

 

例:垂直層流式方向要保持均一氣流須做到:(a)吹出面的風速不可有速度上的差異;(b)地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一。一般無塵室,其風速均取在0.25~0.5m/s之間。

 

應注意的是,一般操作臺或生產(chǎn)設備等表面的氣流分流點應設于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處,這樣的話作業(yè)人員工作時,氣流可從制程區(qū)內部流向作業(yè)區(qū),而將微塵帶走;如果分流點配置在制程區(qū)前方,將成為不當?shù)臍饬鞣至?,此時大部分的氣流將流至制程區(qū)之后,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面,工作臺因而將受到污染,良率也勢必降低。

 

此外,潔凈室內的工作桌等障礙物,在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生,相對地在附近潔凈度將會差,我們可以在在工作桌面鉆上回風孔,將使渦流現(xiàn)象減低;另外組裝材料選擇是否恰當、設備布局是否完善,也是氣流是否成為渦流現(xiàn)象重要因素。

 

了解更多潔凈室氣流的知識可參照宏瑞科技前期文章【潔凈室氣流流型的檢測目的和方法】。

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